本發(fā)明涉及一種利用光刻膠固定柔性材料襯底的方法,屬于微電子技術(shù)領(lǐng)域。選取平的硬質(zhì)襯底和柔性襯底,清洗、吹干、烘干,所述硬質(zhì)襯底材料為石英片,所述柔性襯底材料為聚酰亞胺PI、對(duì)苯二甲酸乙二醇酯PET、或聚丙烯己二脂PPA;襯底粘合,利用粘合材料將硬質(zhì)襯底和柔性襯底較好地粘合、固定,所述襯底粘合材料為光刻膠。本發(fā)明解決了柔性襯底材料在工藝過(guò)程中的彎曲、翹曲問(wèn)題,同時(shí),解決了襯底間產(chǎn)生氣泡的問(wèn)題。保證了柔性襯底在
功能材料生長(zhǎng)與器件制備過(guò)程中的平整度,可以應(yīng)用于柔性可穿戴電子技術(shù)、柔性顯示、柔性傳感器、柔性
太陽(yáng)能電池等技術(shù)領(lǐng)域中。
聲明:
“利用光刻膠固定柔性材料襯底的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)