本發(fā)明公開了一種三維納米通孔的制造方法,屬于光刻技術領域,通過激光直寫結合可調控空間結構光,能夠直接制造直徑<100nm的三維納米通孔,實現(xiàn)了一種納米孔直徑可控的三維納米通孔制造方法。本發(fā)明制造方法過程簡單,成本低廉,制造周期短,能實現(xiàn)納米通孔的可控制造,可以為微納流控、生物醫(yī)學、仿生
功能材料等領域的研究提供有效解決方案。
聲明:
“三維納米通孔的制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)