3包覆TZO粉體的制備及其燒結(jié)方法,功能材料"> 3包覆TZO粉體的制備及其燒結(jié)方法,一種TZO?MoO3包覆粉末的制備及其燒結(jié)方法。本發(fā)明屬于非金屬元素及其化合物。本發(fā)明公開了一種新的工藝來制備MoO3摻雜TZO靶材。本發(fā)明的優(yōu)點在于用一種新的摻雜工藝來代替?zhèn)鹘y(tǒng)的球磨摻雜,得到充分混合、均勻摻雜的粉體。適用于微量(0.2?0.5at%)的MoO3粉末摻雜,可制備出致密度超過99.9%,強度超過120MPa,電阻率小于5.0×10?3Ω·cm的摻雜TZO靶材,這種摻雜TZO靶材,可經(jīng)濟、高效的制成各種復(fù)雜形狀。TZO透明導(dǎo)電薄膜性能穩(wěn)定、制">
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