3包覆TZO粉體的制備及其燒結(jié)方法,功能材料"> 3包覆TZO粉體的制備及其燒結(jié)方法,一種TZO?MoO3包覆粉末的制備及其燒結(jié)方法。本發(fā)明屬于非金屬元素及其化合物。本發(fā)明公開了一種新的工藝來制備MoO3摻雜TZO靶材。本發(fā)明的優(yōu)點在于用一種新的摻雜工藝來代替?zhèn)鹘y(tǒng)的球磨摻雜,得到充分混合、均勻摻雜的粉體。適用于微量(0.2?0.5at%)的MoO3粉末摻雜,可制備出致密度超過99.9%,強度超過120MPa,電阻率小于5.0×10?3Ω·cm的摻雜TZO靶材,這種摻雜TZO靶材,可經(jīng)濟、高效的制成各種復(fù)雜形狀。TZO透明導(dǎo)電薄膜性能穩(wěn)定、制">

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MoO3包覆TZO粉體的制備及其燒結(jié)方法

1084   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:07:01
一種TZO?MoO3包覆粉末的制備及其燒結(jié)方法。本發(fā)明屬于非金屬元素及其化合物。本發(fā)明公開了一種新的工藝來制備MoO3摻雜TZO靶材。本發(fā)明的優(yōu)點在于用一種新的摻雜工藝來代替?zhèn)鹘y(tǒng)的球磨摻雜,得到充分混合、均勻摻雜的粉體。適用于微量(0.2?0.5at%)的MoO3粉末摻雜,可制備出致密度超過99.9%,強度超過120MPa,電阻率小于5.0×10?3Ω·cm的摻雜TZO靶材,這種摻雜TZO靶材,可經(jīng)濟、高效的制成各種復(fù)雜形狀。TZO透明導(dǎo)電薄膜性能穩(wěn)定、制備簡單、成本低廉等優(yōu)勢,在光電學(xué)性能平板顯示領(lǐng)域得到了極其廣泛的應(yīng)用,是新一代透明導(dǎo)電膜,最有可能替代昂貴的ITO,在薄膜太陽能電池和low?E玻璃等領(lǐng)域,正顯示出巨大的應(yīng)用前景和市場,是一種被廣泛研究的功能材料。
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