本發(fā)明涉及一種通過頻率調(diào)控Nb摻雜的PZST基馳豫反鐵電薄膜制備方法,屬于鐵電
功能材料領(lǐng)域。一種通過頻率調(diào)控Nb摻雜的PZST基馳豫反鐵電薄膜制備方法,是將LaNiO
3前驅(qū)體溶液旋涂于襯底上制得濕膜;所得產(chǎn)品干燥、熱解,退火制得單層LaNiO
3薄膜;重復(fù)以上兩個(gè)步驟,制得多層LaNiO
3復(fù)合基底;將Pb
0.99Nb
0.02(Zr
xSn
yTi
1?x?y)
0.98O
3前驅(qū)體溶液旋涂于所得的LaNiO
3復(fù)合基底上制得凝膠濕膜;將所得凝膠濕膜干燥、熱解、退火制得單層Nb摻雜的PZST薄膜;重復(fù)以上兩個(gè)步驟制得多層Nb摻雜的PZST薄膜。本發(fā)明的有益效果是:獲得一種致密性好、平均晶粒尺寸小、高介電常數(shù)、電場(chǎng)擊穿強(qiáng)度大、制冷溫度較大等優(yōu)點(diǎn)的反鐵電薄膜;本發(fā)明制備方法相對(duì)簡(jiǎn)單,是一種高效低成本的制備技術(shù)。
聲明:
“通過頻率調(diào)控Nb摻雜的PZST基馳豫反鐵電薄膜制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)