3包覆TZO粉體的制備及其燒結(jié)方法,功能材料"> 3包覆TZO粉體的制備及其燒結(jié)方法,一種TZO?WO3包覆粉末的制備及其燒結(jié)方法。本發(fā)明屬于非金屬元素及其化合物。本發(fā)明公開了一種新的工藝來制備WO3摻雜TZO靶材。本發(fā)明的優(yōu)點在于用一種新的摻雜工藝來代替?zhèn)鹘y(tǒng)的球磨摻雜,得到充分混合、均勻摻雜的粉體。適用于微量(0.2?0.5at%)的WO3粉末摻雜,就可制備出致密度99%,強度大于118MPa,電阻率小于5×10?3Ω·cm的摻雜TZO靶材,這種摻雜TZO靶材,可經(jīng)濟、高效的制成各種復雜形狀。TZO薄膜是一種被廣泛研究的功能材料。TZO透">
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