本發(fā)明公開了一種紙基MEMS新型超疏水振動傳感器及其制備方法,傳感器包括:紙基框,設(shè)置有通孔;紙基塊,位于所述通孔內(nèi);4個紙基梁,兩端分別連接所述紙基塊和所述紙基框,在4個紙基梁上分別設(shè)置4個微米級V型槽,且4個微米級V型槽內(nèi)分別設(shè)置4個導(dǎo)電層,由于2個微米級V型槽的開口朝向紙基梁的一側(cè),另外2個微米級V型槽的開口朝向紙基梁的另一側(cè)。當(dāng)紙基塊受到力移動時,紙基梁彎曲,則2個微米級V型槽的開口張得更開,對應(yīng)的導(dǎo)電層的電阻增大,另外2個微米級V型槽的開口趨近于閉合,對應(yīng)的導(dǎo)電層的電阻減小。采用紙作為基底材料并形成導(dǎo)電層,制備步驟簡單,且成本較低。
聲明:
“紙基MEMS新型超疏水振動傳感器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)