本發(fā)明涉及一種聚酰亞胺/氧化硅
復(fù)合材料的前 驅(qū)溶液的制備方法,及在基材上形成聚酰亞胺/氧化硅復(fù)合材料 薄膜的方法,其包含添加一種
硅烷化合物單體使聚酰胺酸帶有 氧化硅基團,添加具有式 (R6) xSi(R7) (4-x)的單體使氧化硅基團帶有可感光聚 合的不飽和基團,及添加式 R8N(R9) 2的單體使聚酰胺酸帶有可 感光聚合的不飽和基團。其中, R6、 R7、 R8、 R9與x如說明書中所定義。本發(fā) 明還涉及一種聚酰亞胺/氧化硅復(fù)合材料的前驅(qū)溶液及聚酰亞 胺/氧化硅復(fù)合材料。本發(fā)明的復(fù)合材料可用于微電子與半導(dǎo)體 組件及光電組件。
聲明:
“聚酰亞胺/氧化硅復(fù)合材料的前驅(qū)溶液、其制法及制得的復(fù)合材料” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)