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超細碳-氮-硅復合材料氣相合成新工藝

951 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-18 15:14:02

本發(fā)明是一種制備超細碳氨硅復合材料的氣相合成新工藝, 工藝中采取直流等離子弧為熱源的密閉反應器中完成, 所采用的原料為三氯甲基硅烷和液氨, 兩者按1.4－1.8∶1 的比例(液態(tài)重量比)注入反應器, 并借助自由沉降過程中淬冷直接復合成固態(tài)微粉, 反應借助調控等離子體發(fā)生器輸出功率和N2、H2比例穩(wěn)定, 保持反應溫度在1100℃－1800℃之間, 經淬冷細化的微粉經加熱后處理去除氯化物雜質生成超細Si－N－C納米級復合材料。

聲明：

“超細碳-氮-硅復合材料氣相合成新工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)