一種高功率遠(yuǎn)紅外金剛石激光單晶復(fù)合材料制備方法，屬于金剛石激光晶體材料領(lǐng)域。首先采用微波等離子體化學(xué)氣相沉積(CVD)制備(100)金剛石單晶膜；隨后經(jīng)過激光平整化、拋光、酸洗以及丙酮和酒精清洗后獲得熱導(dǎo)率≥2000w/(m·K)、遠(yuǎn)紅外波段(8～12μm)紅外透過率為71％金剛石單晶膜；再通過磁控濺射方法在雙面拋光金剛石單晶膜單面沉積1?2nm厚(100)銦(In)層作為晶格失配緩沖層；最后在銦(In)層表面異質(zhì)外延生長(100)硒銦鎵銀(AgGa_1?xIn_xSe₂)非線性晶體材料，進(jìn)而獲得單晶硒銦鎵銀(AgGa_1?xIn_xSe₂)/銦(In)/金剛石激光單晶復(fù)合材料。本發(fā)明金剛石激光單晶復(fù)合材料導(dǎo)熱系數(shù)高、遠(yuǎn)紅外激光輸出功率大，特別適用于遠(yuǎn)紅外固體激光器、光通訊等領(lǐng)域的應(yīng)用需求。