本發(fā)明涉及一種含有
氧化鋁涂層和碳化硅涂層的炭/炭
復(fù)合材料坩堝,屬于單晶硅拉制爐用熱場部件技術(shù)領(lǐng)域。所述復(fù)合材料坩堝包括炭/炭復(fù)合材料坩堝本體以及依次涂覆在坩堝本體內(nèi)表面的碳化硅涂層、氧化鋁涂層,碳化硅涂層有效緩解了氧化鋁涂層與基體之間的熱失配,氧化鋁涂層在熔融硅過程中不引入雜質(zhì),能夠有效保證硅料的純度,而且碳化硅涂層和氧化鋁涂層配合使用具有優(yōu)異的抗侵蝕性能,能夠有效避免含硅蒸汽對復(fù)合材料坩堝本體的侵蝕,進(jìn)一步提高復(fù)合材料坩堝的使用壽命,滿足單晶硅拉制的需求。
聲明:
“含有氧化鋁涂層和碳化硅涂層的炭/炭復(fù)合材料坩堝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)