本發(fā)明提出了一種先驅體浸漬/裂解法制備碳/碳
復合材料PECVD舟的工藝,與傳統(tǒng)石墨材質的承載框相比,碳/碳復合材料力學性能優(yōu)于石墨,而且能夠適應PECVD高溫,高真空度,等離子體濺射等惡劣的鍍膜環(huán)境,而采取CVI(化學氣相沉積)工藝制備的碳/碳板材雖然力學性能更佳,使用壽命較長,但是由于工藝控制過程的復雜性導致制造成本較高。因此,本發(fā)明采用先驅體浸漬/裂解工藝制備碳/碳復合材料坯體以及SiC涂層,該工藝制備的承載框在滿足PECVD工藝的前提下,有效地降低了承載框的制造成本。
聲明:
“先驅體浸漬/裂解法制備碳/碳復合材料PECVD舟的制備工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)