本發(fā)明涉及一種SnO2?MoSe2
復(fù)合材料的制備方法、MEMS二氧化硫傳感器及其應(yīng)用,屬于MEMS氣體傳感器技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明所述的SnO2?MoSe2復(fù)合材料的制備方法,包括以下步驟:(1)MoSe2的制備:以鉬酸鈉和硒粉為原料,先后加入硼氫化鈉、無水乙醇,進(jìn)行水熱反應(yīng),經(jīng)過后處理得到MoSe2
納米材料;(2)SnO2?MoSe2復(fù)合材料的制備:用乙醇溶解MoSe2,然后加入SnCl4?5H2O,置于高壓反應(yīng)釜中反應(yīng);冷卻至室溫后,依次經(jīng)過固液分離和干燥,最后將所得產(chǎn)物在氬氣下退火處理。本發(fā)明制得的MEMS二氧化硫傳感器靈敏度高、響應(yīng)恢復(fù)時(shí)間快、選擇性高。
聲明:
“SnO2-MoSe2復(fù)合材料的制備方法、MEMS二氧化硫傳感器及其應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)