一種基于氧化釹修飾的三氧化二銦棒狀
復(fù)合材料的甲醛氣體傳感器及其制備方法,屬于氣體傳感器技術(shù)領(lǐng)域。該傳感器由帶有Pd金屬叉指電極的Al2O3襯底、涂覆在Pd金屬叉指電極和Al2O3襯底上的敏感材料層組成,敏感材料為基于氧化釹修飾的三氧化二銦棒狀復(fù)合材料。本發(fā)明中,通過自犧牲有機(jī)金屬骨架(MOF)模板In2O3和Nd(OH)3前體混合,經(jīng)過退火后合成敏感材料,不但增加了自身的比表面積,帶來了大量的表面活性位點(diǎn),而且還可以有效地利用p?n異質(zhì)結(jié)所引起的更大的阻值變化來提高氣敏響應(yīng),對(duì)甲醛氣體具有良好的檢測性能。同時(shí)本發(fā)明采用的工藝簡單、制得的器件體積小、適于大批量生產(chǎn),因而具有重要的應(yīng)用價(jià)值。
聲明:
“基于氧化釹修飾的三氧化二銦棒狀復(fù)合材料的甲醛氣體傳感器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)