本發(fā)明提供了一種
復(fù)合材料沉積系統(tǒng),包括激光源、一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、至少兩個(gè)第一反射鏡、真空室、至少兩個(gè)用于固定不同的源材料靶材的第一固定平臺(tái)以及用于沉積復(fù)合材料的基片;所述第一固定平臺(tái)以及基片均設(shè)置于所述真空室內(nèi),所述至少兩個(gè)第一固定平臺(tái)分別與所述基片的預(yù)設(shè)區(qū)域相對(duì),所述真空室設(shè)置有通光部,所述激光源與所述第一反射鏡的出光方向呈預(yù)設(shè)夾角;所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述激光源連接以驅(qū)動(dòng)所述激光源移動(dòng),使得所述激光源發(fā)出的激光選擇性地射入至所述至少兩個(gè)第一反射鏡中的一個(gè)第一反射鏡,所述第一反射鏡用于將激光通過(guò)所述通光部射入所述真空室中的對(duì)應(yīng)所述第一固定平臺(tái)處。
聲明:
“復(fù)合材料沉積系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)