本發(fā)明提供了一種基于超聲波檢測的智能化
復(fù)合材料沉積設(shè)備,包括智能激光發(fā)射器、一驅(qū)動機構(gòu)、三個第一反射鏡、真空室、三個用于固定不同的源材料靶材的第一固定平臺以及用于沉積形成復(fù)合材料的基片;所述第一固定平臺以及基片均設(shè)置于所述真空室內(nèi),所述三個第一固定平臺分別與所述基片的預(yù)設(shè)區(qū)域相對,真空室設(shè)置有通光部,所述智能激光發(fā)射器與所述第一反射鏡的出光方向呈預(yù)設(shè)夾角;所述驅(qū)動機構(gòu)與所述智能激光發(fā)射器連接以驅(qū)動所述智能激光發(fā)射器沿著預(yù)設(shè)直線移動,使得所述智能激光發(fā)射器發(fā)出的激光選擇性地射入至所述三個第一反射鏡中的一個第一反射鏡,所述第一反射鏡用于將激光通過所述通光部射入所述真空室中的對應(yīng)所述第一固定平臺處。
聲明:
“基于超聲波檢測的智能化復(fù)合材料沉積設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)