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基于類三明治結(jié)構(gòu)界面和復合材料的二向色鏡及其制備方法

677   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 16:22:01
一種基于類三明治結(jié)構(gòu)界面和復合材料的二向色鏡及其制備方法。利用電子束蒸發(fā)技術(shù)同時沉積折射率大于1.8的材料A和光學帶隙大于6.0eV的材料B形成復合材料取代常規(guī)二向色鏡薄膜中的單一高折射率材料作為高折射率膜層H,利用單一低折射率材料C作為低折射率膜層L;通過控制材料A、材料B和材料C的沉積速率,在高折射率膜層和低折射率膜層間形成類三明治結(jié)構(gòu)的過渡界面,該過渡界面結(jié)構(gòu)為A+B漸變材料層|A|A+C漸變材料層。本發(fā)明將高折射率膜層和低折射率膜層界面設(shè)計為類三明治結(jié)構(gòu)的過渡界面,在不影響薄膜光譜性能的前提下提升二向色鏡的界面結(jié)合力和激光損傷閾值等性能。
聲明:
“基于類三明治結(jié)構(gòu)界面和復合材料的二向色鏡及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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