本發(fā)明屬于高純石墨纖維隔熱
復(fù)合材料技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種高純半導(dǎo)體用石墨纖維隔熱復(fù)合材料及其制備方法。包括,
碳纖維絲和粘合劑;所述碳纖維絲按照預(yù)設(shè)方向排列;碳纖維絲經(jīng)過石墨化處理后形成的石墨纖維絲密度按照預(yù)設(shè)從內(nèi)到外逐漸減?。凰稣澈蟿榉尤渲?,所述粘合劑為液體和/或粉劑;所述石墨纖維絲90%以上沿產(chǎn)品圓周方向或平行于石墨纖維圓筒產(chǎn)品軸方向排列。解決了現(xiàn)有半導(dǎo)體硅晶棒和碳化硅晶棒中熱場隔熱材料純度低,隔熱效果差的技術(shù)問題。
聲明:
“高純半導(dǎo)體用石墨纖維隔熱復(fù)合材料及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)