本實(shí)用新型涉及氣相沉積爐技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及多功能
復(fù)合材料氣相沉積爐,包括爐體,所述爐體的內(nèi)側(cè)下半部設(shè)置有加熱室、上半部設(shè)置有沉積室,所述沉積室的一側(cè)內(nèi)壁設(shè)置有水平的固定柱,固定柱的端部鉸接有活動(dòng)柱,活動(dòng)柱的兩端對(duì)應(yīng)位置處分別鉸接有圓弧形的夾板,兩邊的夾板之間夾持有旋轉(zhuǎn)盤(pán),旋轉(zhuǎn)盤(pán)的底部通過(guò)吸盤(pán)吸附有待氣相沉積的晶圓,本實(shí)用新型解決了在對(duì)晶圓表面進(jìn)行氣相沉積時(shí),會(huì)出現(xiàn)沉積不均勻的狀況,影響產(chǎn)品質(zhì)量的問(wèn)題,本沉積爐的提出,工作人員能夠根據(jù)需要實(shí)時(shí)調(diào)整晶圓的受?chē)妳^(qū)域,保證整個(gè)晶圓能夠均勻的進(jìn)行沉積作用,有效提高產(chǎn)品的質(zhì)量。
聲明:
“多功能復(fù)合材料氣相沉積爐” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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