本發(fā)明實施例提供
石墨烯花的形成方法,包括:將碳氫氣體與輔助氣體導(dǎo)入變壓式耦合等離子體設(shè)備;以及以變壓式耦合等離子體設(shè)備施加中頻電磁波至碳氫氣體與輔助氣體,使碳氫氣體解離后再結(jié)合以形成石墨烯花,其中碳氫氣體的解離率大于95%。
聲明:
“石墨烯花與其形成方法及復(fù)合材料” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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