本發(fā)明具體涉及一種冷壁流化床的制備,并通過(guò)制備的冷壁流化床制備顆粒狀
多晶硅的的方法,屬于
光伏技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明制備的冷壁流化床,選用特殊高溫
復(fù)合材料,提高設(shè)備耐高溫、耐腐蝕、耐壓性能;此種復(fù)合材料密度低,韌性強(qiáng),不易破碎,易于安裝。此種復(fù)合材料通過(guò)多次鍍層、封閉,大大降低高溫腐蝕氣氛中對(duì)顆粒硅產(chǎn)品的污染,保證顆粒硅產(chǎn)品純度達(dá)到6N。本發(fā)明采用高頻感應(yīng)加熱方式加熱流化氣體和小顆粒硅粉:以高溫H2和高溫硅粉加熱原料三氯氫硅氣體,使其在小顆粒硅粉表面迅速達(dá)到反應(yīng)溫度,反應(yīng)主要在顆粒硅粉表面發(fā)生,大大提高了三氯氫硅沉積顆粒硅產(chǎn)品的效率。
聲明:
“冷壁流化床的制備方法及其應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)