本發(fā)明提供一種用于電嘴的半導(dǎo)體部件制作方法,其特征在于,包括以下步驟:將碳化硅半導(dǎo)體(1)、燒結(jié)
復(fù)合材料(2)、高鋁瓷(3)在常溫下,按碳化硅半導(dǎo)體(1)在上、燒結(jié)復(fù)合材料(2)居中、高鋁瓷(3)在下的組合順序,進(jìn)行初步成型,形成待燒結(jié)組件;將待燒結(jié)組件,在1800℃熱等靜壓燒結(jié)兩小時,制成半導(dǎo)體部件。本發(fā)明通過將半導(dǎo)體和絕緣體整體燒結(jié)為半導(dǎo)體部件,降低了加工難度;通過在碳化硅半導(dǎo)體(1)與高鋁瓷(3)之間加入燒結(jié)復(fù)合材料(2),以及通過減小碳化硅半導(dǎo)體厚度(1),降低了能量損耗;解決了現(xiàn)有技術(shù)中用于電嘴的半導(dǎo)體部件加工難度大、能量損耗大的技術(shù)問題。
聲明:
“用于電嘴的半導(dǎo)體部件制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)