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研磨處理用載體、研磨處理用載體的制造方法及磁盤用基板的制造方法

859   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 17:07:00
研磨處理用載體由包括取向?yàn)橹辽僖粋€(gè)方向的纖維和樹脂材料的復(fù)合材料形成,并具有在由上平板和下平板夾持圓板狀的基板而對(duì)所述基板的一對(duì)主表面進(jìn)行研磨處理時(shí)用于保持所述基板的保持孔。所述保持孔在所述保持孔的內(nèi)周壁面的周上具有以在所述保持孔保持所述基板的狀態(tài)下使所述基板與所述纖維接觸的方式構(gòu)成的第1壁部和以在所述保持孔保持所述基板的狀態(tài)下使該基板不與所述纖維接觸的方式構(gòu)成的第2壁部。所述第2壁部形成于所述內(nèi)周壁面中的朝向包括所述一個(gè)方向的所述纖維的取向方向的部分。
聲明:
“研磨處理用載體、研磨處理用載體的制造方法及磁盤用基板的制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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