本發(fā)明涉及一種SiC纖維表面的鈦涂層的制備方法及裝置,采用化學(xué)氣相沉積(CVD)方法在SiC纖維表面制備一定厚度的鈦涂層作為制備鈦基
復(fù)合材料的先驅(qū)絲。通過(guò)調(diào)節(jié)TiCl4氣體流量、H2流量、Ar流量、溫度和時(shí)間等工藝參數(shù),在SiC纖維表面制備得到了一定厚度的鈦涂層,在實(shí)驗(yàn)溫度下鈦涂層沉積速率最高可達(dá)到16μm/min,有希望提高鈦基復(fù)合材料的制備效率并降低成本。本發(fā)明提供的裝置:固定拉直纖維避免了加熱溫度高的纖維貼壁對(duì)玻璃管而造成損害,在氣體管道上纏上加熱帶給管道加熱,避免氣態(tài)TiCl4流經(jīng)氣體管道時(shí)冷凝成液體粘附在其內(nèi)壁;水銀槽周?chē)睦鋮s循環(huán)水系統(tǒng)可給接觸反應(yīng)壁的水銀降溫,避免其在空氣中被人體吸收而造成嚴(yán)重的健康危害。
聲明:
“SiC纖維表面的鈦涂層的制備方法及裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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