一種機(jī)械臂輔助激光加工的高精度定位及運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償方法，涉及機(jī)械臂運(yùn)動(dòng)控制領(lǐng)域。該方法針對(duì)復(fù)合材料內(nèi)部實(shí)際去除深度與機(jī)械臂規(guī)劃的加工路徑深度、方向不匹配造成的較大加工誤差問(wèn)題，在加工之前對(duì)復(fù)合材料進(jìn)行逐層掃描，采集不同深度處材料的漫反射光譜，根據(jù)光譜特征建立與材料內(nèi)部深度相關(guān)的材料屬性分類(lèi)及預(yù)測(cè)模型。將其與加工過(guò)程中采集到的待去除靶材的漫反射光譜特征信息對(duì)比，準(zhǔn)確判斷待去除靶材的深度信息，并結(jié)合機(jī)械臂路徑規(guī)劃中的實(shí)時(shí)坐標(biāo)位置，精確計(jì)算出靶材內(nèi)部實(shí)際去除位置的三維坐標(biāo)，通過(guò)工控機(jī)實(shí)時(shí)反饋給機(jī)械臂加工路徑修正，實(shí)現(xiàn)精確定位和高精度運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償。