本發(fā)明的成膜裝置利用在等離子體流中元素比進(jìn)行隨時(shí)間變動(dòng)的現(xiàn)象，控制復(fù)合膜的組成比。該成膜裝置使用混合有多種原料的復(fù)合材料，使包含所述多種原料中的多種元素的膜成膜于對象物，該成膜裝置具有：放電部，其對復(fù)合材料產(chǎn)生電弧放電，使多種元素處于等離子體狀態(tài)，使其放出；和控制部，其根據(jù)朝向?qū)ο笪锏牡入x子體流中存在的多種元素的組成比，控制到達(dá)對象物的等離子體流的量。