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連續(xù)式化學(xué)氣相沉積爐及其工作方法

833   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 17:13:39
本發(fā)明公開了一種連續(xù)式化學(xué)氣相沉積爐及其工作方法,涉及復(fù)合材料制造設(shè)備領(lǐng)域。本發(fā)明沉積爐內(nèi)依次設(shè)置有準(zhǔn)備區(qū)、沉積區(qū)和冷卻區(qū);沉積區(qū)包括升降臺(tái)、至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)承載臺(tái)、與旋轉(zhuǎn)承載臺(tái)相對(duì)應(yīng)的加熱器;準(zhǔn)備區(qū)、沉積區(qū)和冷卻區(qū)外部分別安裝有第一密封門、第二密封門、第三密封門。本發(fā)明能夠做到同一個(gè)沉積爐同時(shí)有三個(gè)制備件分別于三個(gè)區(qū)內(nèi)進(jìn)行預(yù)熱、沉積和冷卻,并依次連續(xù)性的轉(zhuǎn)換,大大加速了單個(gè)沉積爐的復(fù)合材料的制備效率,節(jié)約了時(shí)間;沉積區(qū)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使裝載碳纖維預(yù)制體的承載板能夠于加熱制備過程中進(jìn)行旋轉(zhuǎn),保持內(nèi)部混合氣體和加熱溫度對(duì)其表面作用的均勻性,提高了碳纖維預(yù)制體制備成品的品質(zhì)。
聲明:
“連續(xù)式化學(xué)氣相沉積爐及其工作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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