本公開提供一種固液耦合式多層熱界面材料及制備方法，該多層熱界面材料包括：液體材料層及固體材料層，固體材料層位于中間，其上、下表面為網(wǎng)格狀結(jié)構(gòu)，并接觸設(shè)置液體材料層；液體材料層包括由鎵基N元合金與微納米填充顆?；旌纤纬傻?a href="http://www.189000b.com/meet_show-74.html" target="_blank">復(fù)合材料，其中，鎵基N元合金包括鎵銦合金、鎵銦錫合金、鎵銦錫鋅合金中的至少一種，微納米填充顆粒包括銀粉、銅粉、鋅粉、鉍粉、銀包銅、氮化鋁、氮化硼、石墨烯、碳納米管、金剛石中的至少一種，N為大于等于2的整數(shù)；固體材料層包括銅、銀、銦、鎵、錫、鉍、鋅中的至少一種。該固液耦合式多層熱界面材料的熱導(dǎo)率高且接觸熱阻小，散熱效果遠(yuǎn)高于普通的導(dǎo)熱硅脂，能夠滿足大功率電子設(shè)備超高的散熱需求。