3O4粉體的方法,復(fù)合材料"> 3O4粉體的方法,本發(fā)明涉及一種MPCVD法制備石墨烯包覆Co3O4粉體的方法,屬于微波等離子與復(fù)合材料技術(shù)領(lǐng)域。將Co3O4基底粉體平鋪,抽真空至壓強(qiáng)1mTorr以內(nèi),然后Ar、H2、CH4按照氣體流量比為9:10:1~5通入,保持壓強(qiáng)為1~90Torr,開啟微波等離子體,在溫度為300~500℃下沉積反應(yīng)30~120min,反應(yīng)結(jié)束后,切斷CH4氣體,保持通入非氧化氣體冷卻至室溫后關(guān)閉非氧化氣體,抽真空至壓強(qiáng)為1mTorr,通入空氣至常壓得到石墨烯包覆Co3O4粉體。本">
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