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磁性封裝微機(jī)器人及其制備方法

1038   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 17:14:54
一種生物相容性封裝的磁性微機(jī)器人的制備方法,包括:提供硅片,在硅片上制備Omnicoat犧牲層;在Omnicoat犧牲層上旋涂SU?8光刻膠形成SU?8基層;得到第一預(yù)制層結(jié)構(gòu);進(jìn)行烘烤;進(jìn)行圖形化曝光;在65℃烘烤2分鐘,然后在95℃烘烤2分鐘;在SU?8基層上涂覆磁性復(fù)合材料,進(jìn)行烘烤;進(jìn)行圖形化曝光;在65℃烘烤2分鐘,然后在95℃烘烤2分鐘;進(jìn)行顯影操作, 去離子水清洗,風(fēng)干;涂覆SU?8光刻膠;進(jìn)行烘烤;圖形化曝光;在65℃烘烤2分鐘,然后在95℃烘烤2分鐘;進(jìn)行顯影操作,去離子水清洗,風(fēng)干;得到生物相容性封裝的磁性微機(jī)器人。上述磁性封裝微機(jī)器人生物相容性和耐化學(xué)性較好。
聲明:
“磁性封裝微機(jī)器人及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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