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雙回路雙碳源快速定向氣相沉積方法

896   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 17:18:50
本發(fā)明公開了一種雙回路雙碳源快速定向氣相沉積方法,其特征在于,采用雙碳源氣體通過雙回路實(shí)現(xiàn)定向流動(dòng)形成穩(wěn)定的溫度場和熱流場,促進(jìn)熱解碳快速沉積至預(yù)制體內(nèi)部,實(shí)現(xiàn)了預(yù)制體的高效致密,提高了炭基復(fù)合材料的密度及均勻性;依次包括預(yù)制體前處理、一次氣相沉積、高溫純化、機(jī)械加工和二次氣相沉積步驟。本發(fā)明公開的雙回路雙碳源快速定向氣相沉積方法沉積周期短,碳源利用率高,制成的炭基復(fù)合材料致密度高,密度及均勻性好。
聲明:
“雙回路雙碳源快速定向氣相沉積方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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