本實(shí)用新型公開(kāi)了一種化學(xué)氣相沉積爐進(jìn)氣分布裝置。其包括爐體底板及設(shè)于所述爐體底板上的進(jìn)氣管,其特點(diǎn)是在進(jìn)氣管的上部設(shè)有導(dǎo)流罩,導(dǎo)流罩呈下部開(kāi)口的圓桶形結(jié)構(gòu),導(dǎo)流罩的頂部或側(cè)壁設(shè)有通孔。所述進(jìn)氣管的上部封閉,側(cè)壁均布有出氣孔。所述導(dǎo)流罩由炭/炭
復(fù)合材料制成。采用本實(shí)用新型的進(jìn)氣分布裝置,并配合工件在沉積爐中的合理排放,可以方便的實(shí)現(xiàn)內(nèi)進(jìn)氣壓差法或外進(jìn)氣壓差法生產(chǎn)工藝,不僅可提高CVI速率,還可大大縮短CVI周期,而且材料密度梯度少,材質(zhì)均勻,尤其適合于炭/炭復(fù)合材料飛機(jī)剎車(chē)盤(pán)的制造。
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