本發(fā)明提供了鎢合金涂層制備設(shè)備及方法,涉及表面工程技術(shù)領(lǐng)域。涉及鎢合金涂層制備設(shè)備,包括設(shè)置在加熱爐內(nèi)的反應(yīng)器,反應(yīng)器通過排氣管路連通尾氣處理裝置,反應(yīng)器通過輸氣管路分別連通氫氣、氬氣、六羰基鎢和六羰基鉬,氬氣與六羰基鎢和六羰基鉬連通。還提供鎢合金涂層制備方法,包括采用常壓化學(xué)氣相沉積方法制備金屬鎢合金涂層,沉積所用的先驅(qū)體為六羰基鎢和六羰基鉬,在低溫下進(jìn)行分解反應(yīng)實(shí)現(xiàn)鎢涂層的制備,其反應(yīng)方程式為W(CO)
6→W+6CO,Mo(CO)
6→Mo+6CO。采用本發(fā)明的技術(shù)方案,能夠提高C/C
復(fù)合材料、石墨、鋼、鈦等材料的抗高溫燃?xì)庋趸瘺_刷的能力,抗腐蝕介質(zhì)侵蝕能力,延長(zhǎng)服役時(shí)間。
聲明:
“鎢合金涂層制備設(shè)備及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)