本發(fā)明是有關(guān)于一種具氮化鋁薄膜的熱擴(kuò)散元件及其制作方法,包含:一基板,基板的組成可為單一材質(zhì)、多層結(jié)構(gòu)、或
復(fù)合材料;及一氮化鋁薄膜,其設(shè)于該基板的表面,該氮化鋁薄膜的厚度是介于1nm至10μm之間,而該氮化鋁薄膜是作為熱傳輸媒介;尤指將置于其上的發(fā)熱元件所產(chǎn)生的熱傳輸至基板,再經(jīng)由基板將熱傳至散熱鰭片。
聲明:
“具氮化鋁薄膜的熱擴(kuò)散元件及其制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)