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氣相沉積方法

723   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 17:46:48
本發(fā)明公開了一種氣相沉積方法,包括以下步驟:對參與沉積反應(yīng)的原料進(jìn)行加熱,直至成為氣相化學(xué)物質(zhì);將所述氣相化學(xué)物質(zhì)引進(jìn)放置好待加工產(chǎn)品的沉積室內(nèi)進(jìn)行沉積反應(yīng);旋轉(zhuǎn)所述沉積室內(nèi)的所述待加工產(chǎn)品。從上述的技術(shù)方案可以看出,本發(fā)明實(shí)施例提供的氣相沉積方法,在對沉積室內(nèi)的待加工產(chǎn)品進(jìn)行氣相沉積時(shí),通過令待加工產(chǎn)品在沉積室內(nèi)進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng),從而對沉積室內(nèi)的氣相進(jìn)行一定程度的攪拌,令產(chǎn)品在沉積室內(nèi)邊轉(zhuǎn)動(dòng)邊進(jìn)行氣相沉積,因此,有利于最終成品的沉積均勻性,保證產(chǎn)品質(zhì)量的一致性。從而,采用上述氣相沉積方法能夠得到均勻材質(zhì)的氣相沉積成品,有效解決了目前大型碳-碳復(fù)合材料的化學(xué)沉積生產(chǎn)制造困難的難題。
聲明:
“氣相沉積方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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