本發(fā)明公開了一種柔性壓力傳感器及其制備方法和應(yīng)用,屬于傳感器技術(shù)領(lǐng)域。柔性壓力傳感器包括第一柔性保護(hù)膜、第一電極層、第一柔性微結(jié)構(gòu)/微孔傳感基片、第二柔性微結(jié)構(gòu)/微孔傳感基片、第二電極層和第二柔性保護(hù)膜;兩柔性微孔/微結(jié)構(gòu)傳感基片表面上分布有微結(jié)構(gòu)陣列、內(nèi)部分布有微孔結(jié)構(gòu)。柔性壓力傳感器的制備包括下述步驟:制備導(dǎo)電高分子
復(fù)合材料;采用超臨界流體發(fā)泡技術(shù)制備柔性微孔/微結(jié)構(gòu)傳感基片;將兩片柔性微孔/微結(jié)構(gòu)傳感基片以微結(jié)構(gòu)陣列面對面的方式貼合在一起后,夾在兩電極層之間,并用柔性保護(hù)膜粘貼在兩電極層的表面上,從而封裝成柔性壓力傳感器。本發(fā)明具有高靈敏度、寬檢測范圍以及高穩(wěn)定性和耐久性等優(yōu)點(diǎn)。
聲明:
“柔性壓力傳感器及其制備方法和應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)