本實(shí)用新型涉及一種復(fù)合型碳化硅板,主要是解 決普通碳化硅板在強(qiáng)氧化環(huán)境中易被氧化、影響使用壽命的問(wèn) 題。它包括碳化硅基板,其特征在于碳化硅基板表面上壓制一 層由
復(fù)合材料構(gòu)成的復(fù)合層。復(fù)合層與SiC層結(jié)合面粗糙,互 相滲入。復(fù)合層的主要成分為輕燒α- Al2O3、ZrO2。本實(shí)用新型中的復(fù) 合層在燒成溫度、熱膨脹系數(shù)、燒成線變化等諸多方面與SiC 基板相同或相近,在高溫(1400℃)室溫的變化中不會(huì)脫落、剝 離,達(dá)到與基板共壽命,并保護(hù)SiC基板不被氧化。
聲明:
“復(fù)合型碳化硅板” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)