本實用新型公開了一種表面具有抗氧化涂層的炭素材料發(fā)熱體它包括由碳/碳
復合材料或石墨材料組成的基體(1),其特征是基體(1)的表面設有由原位生長的碳化硅晶須組成的過渡層(2),本實用新型在炭素材料基體上原位生長一層碳化硅晶須,利用碳化硅晶須的拔出橋連與裂紋轉(zhuǎn)向機制降低涂層中的裂紋尺寸和數(shù)量,有利于大幅度提高碳化硅涂層的抗氧化性能和抗熱震性能,而且整個制備過程可以通過化學氣相沉積連續(xù)完成,大大簡化了涂層的制備過程,可在
半導體材料區(qū)域提純中作為輔助發(fā)熱體使用。
聲明:
“炭素材料發(fā)熱體” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)