本實(shí)用新型公開了一種用來制備納米硅粉的電弧放電-等離子體復(fù)合裝置,其特征在于,包括電弧放電裝置和等離子體發(fā)生器,所述電弧放電裝置和等離子體發(fā)生器通過管道和閥門連接。本實(shí)用新型所述復(fù)合裝置可以直接采用高純度半導(dǎo)體(9N級晶硅)或太陽能級(6N級晶硅)鑄錠的硅棒,采用電弧放電、高溫等離子體氣化、活化處理、接枝反應(yīng)等步驟得到一種核殼結(jié)構(gòu)硅納米
復(fù)合材料,成品轉(zhuǎn)化率和純度較高,使用本裝置制備方法簡單易行,適合規(guī)模化生產(chǎn)。
聲明:
“用來制備納米硅粉的電弧放電-等離子體復(fù)合裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)