本實用新型公開了一種超小型MEMS陀螺儀傳感器,其包括一MEMS晶圓,在MEMS晶圓內(nèi)挖槽后填埋密度大于硅的金屬于槽內(nèi)形成
復(fù)合材料的質(zhì)量塊,該MEMS晶圓周圍形成一固定框架,該質(zhì)量塊通過至少一彈簧與固定框架連接。本實用新型能夠適當(dāng)優(yōu)化器件性能,以及大大縮小質(zhì)量塊的面積尺寸。
聲明:
“超小型MEMS陀螺儀傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)