本發(fā)明公開了一種
新能源汽車用SiC第三代功率半導(dǎo)體晶片切割液,由脂肪醇、高分子聚醚、表面活性劑、清洗助劑、硅粉分散劑、緩蝕劑、滲透劑、消泡劑、純水組成。本發(fā)明可有效解決晶片切割過程中出現(xiàn)的微裂、崩邊、外延層錯(cuò)、滑移位借等性能質(zhì)量問題,滿足晶片高品質(zhì)的切割工藝要求,大幅提高加工切割生產(chǎn)效率。
聲明:
“新能源汽車用SiC第三代功率半導(dǎo)體晶片切割液” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)