碲化鎘薄膜太陽電池組件,屬于新能源材料與器件領(lǐng)域。本發(fā)明首先在未經(jīng)激光刻劃的透明導(dǎo)電薄膜玻璃上,沉積硫化鎘薄膜、碲化鎘薄膜,獲得“玻璃/透明導(dǎo)電薄膜/硫化鎘/碲化鎘”結(jié)構(gòu),對(duì)其進(jìn)行熱處理,然后進(jìn)行激光刻劃,刻掉“透明導(dǎo)電薄膜/硫化鎘/碲化鎘”,然后進(jìn)行化學(xué)腐蝕,然后在“透明導(dǎo)電薄膜/硫化鎘/碲化鎘”刻線位置填注低溫固化聚酰亞胺,然后沉積背接觸層并進(jìn)行后處理,然后使用激光刻劃掉在“透明導(dǎo)電薄膜/硫化鎘/碲化鎘”刻痕附近刻劃掉“硫化鎘/碲化鎘/背接觸層”,沉積金屬背電極層,然后使用激光刻劃掉“透明導(dǎo)電薄膜/硫化鎘/碲化鎘”刻痕和“硫化鎘/碲化鎘/背接觸層”刻痕附近的“硫化鎘/碲化鎘/背接觸層/金屬背電極”,獲得串聯(lián)集成的碲化鎘薄膜太陽電池組件。該方法保證了全干法制備碲化鎘薄膜太陽電池組件的工藝中,沉積硫化鎘、碲化鎘薄膜時(shí)可獲得質(zhì)量均勻一致的薄膜,保證了后續(xù)含氯化鎘氣氛中熱處理均勻性,同時(shí)又不影響單元電池的形成及其串聯(lián)集成的實(shí)現(xiàn),從而提高了組件的轉(zhuǎn)換效率。