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基于p型硅微通道表面均勻納米修飾的方法

718   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 20:28:05
本發(fā)明涉及納米材料與微結(jié)構(gòu)技術(shù)領(lǐng)域,公開了一種基于均勻的化學(xué)鍍鎳硅微通道襯底結(jié)構(gòu)上生長(zhǎng)均勻納米結(jié)構(gòu)材料的方法,其步驟包括:通過(guò)激光切割出所需形狀的從硅襯底剝離的硅微通道,用化學(xué)鍍鎳的方法在微通道表面均勻生長(zhǎng)一層鎳導(dǎo)電層;調(diào)整沉積鎳的時(shí)間使得所得到的鍍鎳硅微通道的電阻低于兩歐姆;然后在鍍鎳微通道表面通過(guò)水熱法生長(zhǎng)一層納米結(jié)構(gòu),這層納米結(jié)構(gòu)是由CoMoO4這種復(fù)合金屬氧化物構(gòu)成的,本發(fā)明利用水熱法在微米孔徑的鍍鎳硅微通道表面和內(nèi)部生長(zhǎng)納米結(jié)構(gòu),提高了結(jié)構(gòu)的均勻性與穩(wěn)定性,避免了物理方法輸運(yùn)材料到微通道內(nèi)部造成的微通道的嚴(yán)重堵塞,同時(shí)自身具有良好的電化學(xué)活性,有望應(yīng)用于新能源領(lǐng)域。
聲明:
“基于p型硅微通道表面均勻納米修飾的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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