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超薄基膜的連續(xù)式卷繞真空鍍膜方法

1097   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 20:32:58
本發(fā)明公開一種超薄基膜的連續(xù)式卷繞真空鍍膜方法,用于新能源動(dòng)力電池領(lǐng)域中在柔性基膜上制備多層膜層,主要包括:(1)將基膜放置在真空鍍膜機(jī)的放卷室中的放卷輥上,關(guān)閉真空室,對(duì)真空室進(jìn)行抽真空;(2)在真空環(huán)境中采用真空穿膜機(jī)構(gòu)使基膜在卷繞系統(tǒng)上真空穿膜;(3)當(dāng)真空鍍膜機(jī)的真空蒸發(fā)鍍膜室和磁控濺射鍍膜室中的真空度達(dá)到工藝要求時(shí),啟動(dòng)卷繞系統(tǒng)、蒸發(fā)裝置和磁控靶;磁控濺射鍍膜室豎直立式排布,真空蒸發(fā)鍍膜室呈層疊排布于磁控濺射鍍膜室的兩側(cè);基膜走膜依次經(jīng)過一側(cè)的真空蒸發(fā)鍍膜室、磁控濺射鍍膜室和另一側(cè)的真空蒸發(fā)鍍膜室,分別進(jìn)行蒸發(fā)鍍膜和磁控濺射鍍膜,實(shí)現(xiàn)在基膜的兩面分別鍍制多層膜層。
聲明:
“超薄基膜的連續(xù)式卷繞真空鍍膜方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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