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用于制作化學(xué)氣相沉積生長多晶硅的硅芯專用切割設(shè)備

693   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 20:35:19
本實(shí)用新型涉及的一種用于制作化學(xué)氣相沉積生長多晶硅的硅芯專用切割設(shè)備。屬新能源及新材料技術(shù)領(lǐng)域。本實(shí)用新型將多晶硅棒料安裝固定在金剛石外圓切割機(jī)中,同時對多根多晶硅棒料進(jìn)行切割制取硅芯,先將多晶硅棒料切割成多晶硅片料,再將多晶硅片料切割成條狀硅芯,切割完畢,可以同時得到多根硅芯。本實(shí)用新型提供的硅芯制備方法其生產(chǎn)效率明顯高于其它制備方法,且在整個切割過程中,所用切割冷卻液為自來水或脫鹽水,不需要專門配制切割漿料,將切割冷卻液經(jīng)簡單處理后進(jìn)行循環(huán)使用,整個生產(chǎn)過程產(chǎn)生的廢物僅為硅渣,不會對環(huán)境產(chǎn)生不利影響。
聲明:
“用于制作化學(xué)氣相沉積生長多晶硅的硅芯專用切割設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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