本發(fā)明公開了一種光柵結(jié)構(gòu)的鈮酸鋰-金-鈮酸鋰表面等離子激元溫度傳感裝置,其特征是,包括順序疊接的底層玻璃層、第一鈮酸鋰層、金層和第二鈮酸鋰層,第一鈮酸鋰層、金層和第二鈮酸鋰層形成鈮酸鋰-金-鈮酸鋰介質(zhì)波導(dǎo)結(jié)構(gòu);所述的鈮酸鋰-金-鈮酸鋰為對稱的鈮酸鋰介質(zhì)波導(dǎo)結(jié)構(gòu);所述鈮酸鋰介質(zhì)波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的中間層金層為周期光柵結(jié)構(gòu)。這種等離子激元溫度傳感裝置將亞波長尺度的表面等離子技術(shù)應(yīng)用在溫度傳感領(lǐng)域提高了器件的適應(yīng)性和靈敏度,彌補了微機電系統(tǒng)應(yīng)用中溫度傳感器精度低、穩(wěn)定性差、反應(yīng)時間長的缺陷,特別是具有的納米級尺寸可以為光電集成的發(fā)展提供關(guān)鍵器件。
聲明:
“光柵結(jié)構(gòu)的鈮酸鋰-金-鈮酸鋰表面等離子激元溫度傳感裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)