本發(fā)明公開了本發(fā)明提供了一種用于全固態(tài)鋰離子電池的超薄鋰負(fù)極膜的制備工藝,包括如下步驟:在基片上通過磁控濺射方法沉積Cu
3N薄膜,其中Cu
3N薄膜的厚度為10?12nm;在Cu
3N薄膜上通過磁控濺射方法沉積第一TiO
2薄膜,其中第一TiO
2薄膜的厚度為12?15nm;在第一TiO
2薄膜上通過磁控濺射方法沉積Zn
3N
4薄膜,其中Zn
3N
4薄膜的厚度為10?12nm;在Zn
3N
4薄膜上通過磁控濺射方法沉積第一Li
4Ti
5O
12薄膜,其中第一Li
4Ti
5O
12薄膜的厚度為10?12nm;在第一Li
4Ti
5O
12薄膜上通過磁控濺射方法沉積第二TiO
2薄膜,其中第二TiO
2薄膜的厚度為10?12nm;在第二TiO
2薄膜上通過磁控濺射方法沉積Fe
3N薄膜,其中Fe
3N薄膜的厚度為7?9nm;在Fe
3N薄膜上通過磁控濺射方法沉積Al
2O
3薄膜,其中Al
2O
3薄膜的厚度為7?9nm;以及在Al
2O
3薄膜上通過磁控濺射方法沉積第二Li
4Ti
5O
12薄膜。
聲明:
“用于全固態(tài)鋰離子電池的超薄鋰負(fù)極膜的制備工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)