提供了由薄膜鈮酸鋰制成的光學(xué)裝置及其制造。在一些實(shí)施方式中,光學(xué)裝置包括基板和設(shè)置在所述基板上的光波導(dǎo)。所述光波導(dǎo)包含鈮酸鋰。所述光波導(dǎo)具有沿所述基板橫向延伸的中央脊。電極對(duì)設(shè)置在所述光波導(dǎo)的所述中央脊的相對(duì)側(cè)。
聲明:
“微機(jī)械薄膜鋰鈮酸鋰電光裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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