本發(fā)明涉及電光調(diào)制，高速光通信技術(shù)領(lǐng)域，更具體地，涉及一種基于鈮酸鋰波導(dǎo)的電光開關(guān)及其制作方法。用于解決傳統(tǒng)電光開關(guān)消光比大、開關(guān)頻率低、帶寬受限的問題。此種電光開關(guān)自上而下的結(jié)構(gòu)為：漸變陣列電極、緩沖層和基底；所述漸變陣列電極為一組底邊呈規(guī)律性變化的等腰三角形微結(jié)構(gòu)陣列電極單元；所述基底為塊狀鈮酸鋰或者鈮酸鋰薄膜集成波導(dǎo)，所述鈮酸鋰薄膜集成波導(dǎo)為單晶鈮酸鋰與襯底的結(jié)合，所述塊狀鈮酸鋰或單晶鈮酸鋰內(nèi)部包裹有質(zhì)子交換鈮酸鋰波導(dǎo)；所述質(zhì)子交換鈮酸鋰波導(dǎo)形成波導(dǎo)區(qū)，所述波導(dǎo)區(qū)呈Y字形，所述波導(dǎo)區(qū)包括輸入端、漸變區(qū)和輸出端，所述波導(dǎo)區(qū)之外的區(qū)域?yàn)榉遣▽?dǎo)區(qū)。通過上述技術(shù)方案，以實(shí)現(xiàn)低損耗、穩(wěn)定性強(qiáng)、驅(qū)動(dòng)電壓低、調(diào)制帶寬大的技術(shù)效果。