亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 加工技術(shù)

> 鈮酸鋰晶圓的減薄方法

鈮酸鋰晶圓的減薄方法

898   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 20:57:26
本發(fā)明公開了一種鈮酸鋰晶圓的減薄方法,屬于芯片封裝技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明的鈮酸鋰晶圓的減薄方法,包括以下步驟:提供一鈮酸鋰晶圓,在鈮酸鋰晶圓的背面貼第一劃片膠膜,并沿鈮酸鋰晶圓正面的切割道進行預(yù)切割至預(yù)定深度;去除第一劃片膠膜,在鈮酸鋰晶圓的正面貼磨片膠膜,磨片膠膜為雙層膠膜;對鈮酸鋰晶圓的背面進行研磨至晶粒分離;在鈮酸鋰晶圓的背面貼第二劃片膠膜,再去除磨片膠膜。本發(fā)明實現(xiàn)了鈮酸鋰晶圓的研磨前切割工藝,避免了現(xiàn)有技術(shù)中鈮酸鋰晶圓在磨切加工時易出現(xiàn)脆性破壞、亞表面損傷層深和切割正背面崩裂大等損傷的現(xiàn)象,且芯片正背面崩裂均可以控制在10um以內(nèi),有利于保證鈮酸鋰芯片封裝產(chǎn)品的品質(zhì)。
聲明:
“鈮酸鋰晶圓的減薄方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽:
加工技術(shù)
全國熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺

最新更新技術(shù)

報名參會
更多+

報告下載

第二屆中國微細粒礦物選礦技術(shù)大會
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團)有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記