本發(fā)明涉及一種能夠大面積制備鋰離子固體電 解質薄膜的方法。它采用電子束加熱方法與氮離子源發(fā)生器相 結合,沉積鋰磷氧氮(LiPON)薄膜。與射頻磁控濺射等方法相 比,沉積面積大近10倍。由本方法制備的鋰磷氧氮薄膜,其Li離子傳導率可達2~5×10-6s/cm。結合Ag0.5V2O5等薄膜電極與熱蒸發(fā)制備的金屬鋰薄膜電極可組裝成全固態(tài)薄膜鋰離子電池,該電池具有良好的充放電性能。
聲明:
“能夠大面積制備鋰離子固體電解質薄膜的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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